12” Non Taiko 100um Mount tape

客户问题  12” Wafer 100um Mount tape :

A: 因翘曲问题导致无法自动传送 与 无法实际自动化生产。

B: 12”wafer 100um mount tape 时，wafer 与 tape 之间局部出现小量气泡，导致切割时造成龟裂或破片问题。

制程 : 

Supporter bond 12” Non taiko 100um => PVD

=>Mount tape => De-Supporter 

解决 :

A: 12” Non taiko PVD 自动化。

B: 12” Non taiko Mount tape 龟裂 & 自动化问题。