东武精工- IGBT工艺


IGBT 工艺实际案件分享 (Supporter)
(电动车 & 5G 芯片薄化与高精度需求)


客户问题 :  wafer warpage ≧ 10mm 导致无法传送生产。


A: 解决高真空200℃ wafer warpage 传送问题

B:翘曲物件于高真空环境内稳定吸附传送

C:解决破片与精度等问题
D:提高WPH设备产能
E: 符合成本效益