(无线式E-Sopporter）

6"/8"/12" supporter (T:760um/TTv:10um)

真空环境/温度范围(-100~200°C)，Wafer仍可稳定吸附

Supporter供电一次，可半永久吸附。

supporter 吸附力:导体、半导体吸附力130~200g/cm2绝缘体:15~50g/cm2。

M/C Alarm:0.7uA保护机制
Supporter客制化商品
Supporter 保固一年、无限次使用

(有线式E-Supporter）

（载盘吸附/脱附电力设备）

（可吸附、固定、并传送的各种材料）

1.只需使用电源单元释放静电吸盘内的电场，就可将静电吸盘与物体分开。
2.静电吸附载盘可以吸附、固定、并传送标准规格的各种半导体晶圆片(Si,GaAs,SiCGaN,etc),翘曲晶圆片,3D封装的超薄晶圆片(80-100 um),薄化后的功率器件晶圆片(Thin IGBT, MOSFET, MEMS, SAW device.WLCSP, etc.),柔性材料。
3.静电吸附载盘可以吸附并固定超薄晶圆片或翘曲晶圆片进行离子注入，激光退火,薄膜生长,刻蚀,以及芯片Cp检测等应用.