静电吸盘(ESC)是一种特殊类型的夹具，用于通过静电的吸引力来按住或拾取物体。对ESC静电吸盘内部的电极施加双极电压时，就会在静电吸盘内产生一个定向电场。每一种物质都具有内在的正电荷和负电荷，当物体被放置在静电吸盘上时,在该材料内部的正电荷和负电荷就受到电场牵引而产生漂移以匹配吸盘内部电极的极性。ESC和材料之间的吸引力被称为静电力，这就是静电吸盘吸附物质的基本机制。

如图所示，ESC仅移动卡盘内的固有电荷，因此形成的电流极小而不会产生任何电击，故不会伤害接触到的材料。
简而言之，ESC是通过人为制造的静电力而将物体粘附在一起。